描述了用于監(jiān)測(cè)此種材料處理組件中的熱狀況的熱感測(cè)系統(tǒng)和方法的各種實(shí)施例。熱感測(cè)系統(tǒng)包括傳感器線纜,傳感器線纜結(jié)合一個(gè)或多個(gè)熱傳感器或聯(lián)接到一個(gè)或多個(gè)熱傳感器上。傳感器線纜定位在組件中,且熱傳感器提供溫度測(cè)量。在各種實(shí)施例中,傳感器線纜和熱傳感器可為光學(xué)裝置或電氣裝置。
聲明:
“用于材料處理組件的熱感測(cè)” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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