一種用于
多晶硅熔煉爐的真空連續(xù)加料系統(tǒng),可以在真空條件或保護(hù)氣條件下實(shí)現(xiàn)不開(kāi)爐蓋連續(xù)加料。本發(fā)明中的用于多晶硅熔煉爐的真空連續(xù)加料系統(tǒng),包括通氣管、密封閥門、密封頂蓋、加料室、加料閥門、加料管。真空連續(xù)加料系統(tǒng)安裝于多晶硅熔煉爐上方,可以在真空條件或保護(hù)氣條件下實(shí)現(xiàn)不開(kāi)爐蓋連續(xù)加料。
聲明:
“用于多晶硅熔煉爐的真空連續(xù)加料系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)