本發(fā)明提供一種高純度二氧化硅與冶金級
多晶硅的制法,高純度二氧化硅的制法是先將預(yù)定比例的二氧化硅均勻溶解于氟化氨水溶液中并加熱,再加入預(yù)定溫度的熱水于溶液中予以攪拌,并過濾固體殘留物,繼而將過濾后的溶液降溫至室溫,可獲致氟化硅銨鹽晶體,再重復(fù)前述二步驟預(yù)定次數(shù)可獲致預(yù)定純度的氟化硅銨鹽晶體,再導(dǎo)入大量氨氣并以預(yù)定溫度加熱氟化硅銨鹽晶體以進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),即可得到高純度二氧化硅。而冶金級多晶硅的制法是取氟化硅銨鹽為原料,將其置于容器內(nèi)并通入氫/氬混合氣,再加熱該容器使氟化硅銨鹽、氫/氬混合氣產(chǎn)生還原反應(yīng),預(yù)定時間后停止加熱,使該容器自然冷卻,待其冷卻至適當(dāng)溫度后停止通入氫/氬,最后,即可于該容器內(nèi)產(chǎn)生冶金級多晶硅粉末。
聲明:
“高純度二氧化硅與冶金級多晶硅的制法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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