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用于等離子固態(tài)冶金的新型源極裝置

998 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:36:45

本實用新型公開了一種用于等離子固態(tài)冶金的新型源極裝置，包括兩端開口的中空棱柱狀筒身，筒身內側的各筒壁上設有凹臺，凹臺的底部設有卡槽，筒身的各棱角處倒為圓角，各圓角對應的筒身圓周上設有圓孔；棱柱狀筒身為四棱柱狀筒身，每個棱角處倒為圓角，其中一對相互平行的筒身內側筒壁上分別設有2個凹臺，另一對相互平行的筒身內側筒壁上分別設有1個凹臺；該裝置結構簡單，源極靶材安裝方便，減少了源極熔融，靶材和預滲基材之間的距離方便調整，可以同時采用板狀源極靶材和棒狀源極靶材對預滲基材共滲進行固態(tài)冶金。

聲明：

“用于等離子固態(tài)冶金的新型源極裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)