本發(fā)明公開了一種基于非晶材料的高性能薄膜壓力傳感器,包括一個(gè)受力支撐座,一個(gè)焊接在所述受力支撐座底部凹槽內(nèi)的應(yīng)變彈性膜片,一個(gè)固定于所述受力支撐座內(nèi)部的轉(zhuǎn)換電路板,其特征在于,所述應(yīng)變彈性膜片是采用大片非晶材料通過真空鍍膜工藝在其上形成敏感電阻構(gòu)成惠斯通電橋電路,使用機(jī)械沖壓或激光切割的辦法而分離的彈性體。由于彈性體材料采用了非晶材料,其楊氏模量比17-4PH彈性體材料小很多,傳感器靈敏度系數(shù)得到提高。另外,由于采用大片非晶材料批量化生產(chǎn)彈性體,生產(chǎn)效率高,生產(chǎn)成本低,并保留了薄膜壓力傳感器的優(yōu)良性能,產(chǎn)品在機(jī)械、石化、汽車、食品、制藥、冶金等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
聲明:
“基于非晶材料的高性能薄膜壓力傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)