一種顆粒增強(qiáng)致密復(fù)合涂層的制備方法,其特征在于,將金剛石粉末、碳粉按1:1~5比例球磨混合20~40h,球磨后的混合粉末、無水乙醇、金屬鹽化物混合配制成電泳懸浮液,其中金剛石溶度為1~5g/L。負(fù)極電極材料選擇為單晶硅片,接通電泳儀,開始在單晶硅片上電泳沉積混合粉末,電泳沉積時(shí)間為0.5~5min。磁力攪拌器攪拌轉(zhuǎn)速為100~500r/min,電泳沉積結(jié)束,小心取出沉積試樣,室溫下烘干18~24h后平放于石墨基底表面,放入高真空反應(yīng)爐中,在惰性氣氛下升至1500~1600℃保溫3~10h,開始反應(yīng)燒結(jié)復(fù)合涂層。本發(fā)明通過冶金反應(yīng)在基體和金剛石表面形成致密碳化硅結(jié)合相,提高金剛石的結(jié)合強(qiáng)度,電泳沉積混合粉末顆粒均勻致密,利于涂層反應(yīng)均勻充分,制備周期短,成本低。
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