本發(fā)明公開(kāi)一種靶材的制造方法,是利用
粉末冶金法制造濺射靶的靶材的方法,其包括:對(duì)于每一個(gè)成型后的被燒結(jié)體,從該被燒結(jié)體的一端開(kāi)始進(jìn)行燒結(jié)的加熱工序;該加熱工序優(yōu)選為,對(duì)每一個(gè)所述被燒結(jié)體,使該被燒結(jié)體同時(shí)跨過(guò)兩個(gè)以上的設(shè)為不同溫度的相鄰區(qū)域、一邊搬送一邊加熱的工序。根據(jù)本發(fā)明,在加熱工序中,對(duì)于每一個(gè)被燒結(jié)體,升溫時(shí)通過(guò)在其兩端設(shè)定溫度差,可以從一端開(kāi)始順序加熱,從而進(jìn)行燒結(jié),即,在制造長(zhǎng)尺寸以及大型的靶材時(shí),也可以使燒結(jié)工序從被燒結(jié)體的一端開(kāi)始順序進(jìn)行,使該燒結(jié)體的由燒結(jié)引起的收縮也順序產(chǎn)生,因此,可以提高最終獲得的靶材的密度,改善密度不均的同時(shí)還可以防止發(fā)生彎曲變形以及裂紋。
聲明:
“濺射靶用靶材的制造方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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