本發(fā)明屬于冶金制備領(lǐng)域,特別涉及一種磁控濺射FE-CO合金靶的制造方法。該方法以99.97%的電解鈷和99.95%的純鐵為原料,經(jīng)真空熔煉、鑄錠、鍛造、軋制、矯直,然后機(jī)加工成成品。合金成分WT%范圍為:FE 25-75%,CO 25-75%;在熔煉過(guò)程中澆注溫度在合金熔點(diǎn)以上50℃~150℃,鍛造溫度在800℃~1200℃,軋制溫度為850℃~1200℃,鍛造和軋制的變形量均大于80%,矯直溫度在700℃~1000℃。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有工藝簡(jiǎn)單,成本低,成份分布均勻無(wú)偏析,晶粒細(xì)小均勻,成品的純度高,密度大、可控尺寸大,厚度薄的優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“磁控濺射FE-CO合金靶的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)