方法,其包括在包括250-400℃的溫度和2-33barg的壓力的反應(yīng)條件下,在反應(yīng)器中將氯化氫、冶金級(jí)硅和諸如四氯化硅的第三氣體結(jié)合足夠的時(shí)間以將冶金級(jí)硅轉(zhuǎn)化為包含三氯甲
硅烷的排出氣。
聲明:
“三氯甲硅烷生產(chǎn)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)