本發(fā)明涉及一種可腔雙球面鍺單晶生長的方法及模具,屬半導(dǎo)體冶金晶體生長領(lǐng)域。本發(fā)明將鍺金屬和鍺單晶籽晶分別裝入公知的單晶生長設(shè)備中的模具的上石墨模2與下石墨模3之間和下模3下部的晶種室4內(nèi),經(jīng)一段時(shí)間的晶種導(dǎo)引,模塊熱固直接生長出任意曲率半徑的雙球面單晶體。本發(fā)明具有工序簡單,材料消耗低,光學(xué)質(zhì)量高,無污染,成本低等優(yōu)點(diǎn),適用于生長雙球面或單球面鍺單晶體透鏡毛坯。
聲明:
“可控雙球面鍺單晶生長方法及模具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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