本發(fā)明涉及一種高純鉭釕合金靶材的真空熱壓燒結(jié)制備方法,屬于
粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域,所述制備方法包括原料粉的制備、混粉和靶材的真空熱壓燒結(jié),具體包括如下步驟:將高純鉭和釕塊體分別破碎成<2mm并篩分,得鉭粉和釕粉;對鉭粉和釕粉球磨至粒度在5?200μm;將球磨好的兩種粉體按照一定比例混料,得混合料;將混合料干燥后裝入石墨模具;將模具放入熱壓爐中進行真空熱壓燒結(jié),燒結(jié)結(jié)束后得高純鉭釕合金靶材的坯體;然后按照磁控濺射鍍膜設(shè)備要求,對坯體進行加工,得到高純鉭釕合金靶材。采用本發(fā)明的制備方法,可顯著降低傳統(tǒng)鑄造法制備難熔合金靶材的技術(shù)難度,大大提高了材料組織和性能的可控性,有助于顯著改善后期的鍍膜性能。
聲明:
“高純鉭釕合金靶材的真空熱壓燒結(jié)制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)