一種采用液態(tài)濾網(wǎng)提純
多晶硅的方法,屬于冶金提純領(lǐng)域。本發(fā)明的方法是在硅定向凝固提純過(guò)程中加入一定量熔點(diǎn)低于硅熔點(diǎn),且密度大于硅密度的金屬元素或合金或金屬混合物,在硅鑄錠冷卻過(guò)程中合金形成液態(tài)濾網(wǎng),而硅中各種雜質(zhì)隨濾網(wǎng)由下而上過(guò)濾到鑄錠表面。本發(fā)明的方法可以有效降低硅中雜質(zhì)含量,特別是B雜質(zhì)含量,可以將B含量由原來(lái)的2-4ppmwt降到0.5-1ppmwt。采用本發(fā)明的方法,可將4-5N多晶硅有效提純至6N以上。
聲明:
“采用液態(tài)濾網(wǎng)提純多晶硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)