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強磁場熱壓制備金屬靶材的裝置及方法

821 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:46:18

一種強磁場熱壓制備金屬靶材的裝置及方法，屬于粉末冶金技術領域。其制備裝置，包括壓頭、模具、上下移動壓桿、超導磁體、加熱器、冷卻水管道和支座；采用上述裝置，制備方法包括如下步驟：(1)備料：稱量金屬粉；(2)裝填；(3)磁場熱壓：磁場強度為0.5～6T；溫度為200～1600℃，壓力為10～80MPa，熱壓20～200min，空冷至室溫，制得金屬靶材；(4)機械加工：將金屬靶材進行機械加工，制得表面光滑、平整的金屬靶材。本方法將強磁場取向引入到熱壓工藝制備金屬靶材工藝中，利用熱壓獲得高密度；利用強磁場使金屬粉的易磁化軸，朝磁場方向轉動，從而獲得具有良好取向。通過熱壓和強磁場的復合效應獲得具有高密度、強織構的高質量磁控濺射靶材。

聲明：

“強磁場熱壓制備金屬靶材的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)