本發(fā)明公開了一種敏感組件卡裝式薄膜壓力傳感器及制造方法,制造方法包括分別制造接壓件、敏感組件、殼體等,將各部件組裝并進(jìn)行疲勞和高低溫試驗(yàn)制成敏感組件卡裝式薄膜壓力傳感器。由于采用彈性體與接壓件結(jié)構(gòu)分體設(shè)計(jì),彈性體組件通過擠壓緊密接觸方式與接壓件密封。彈性體組件一旦在疲勞、高低溫老化、引線、焊接等工藝過程中出現(xiàn)問題時容易更換,不至于整個產(chǎn)品報廢。這樣,敏感組件卡裝式薄膜壓力傳感器同時具有精度高、穩(wěn)定性好、可靠性高、工作壽命長、成本低等優(yōu)點(diǎn)。該產(chǎn)品可應(yīng)用于航空航天、武器裝備、石油化工、冶金、能源、交通、工業(yè)過程控制、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域。
聲明:
“敏感組件卡裝式薄膜壓力傳感器及制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)