本發(fā)明提供的高純鈷靶材的制備方法,包括:將鈷粉裝入模具;冷壓成型;真空熱壓燒結(jié)。與傳統(tǒng)的通過高真空電子束熔煉爐獲得高純鈷錠、然后對鈷錠反復(fù)進(jìn)行塑性變形和退火制得鈷靶坯的工藝相比,本發(fā)明通過
粉末冶金的真空熱壓燒結(jié)技術(shù)直接由粉末制得鈷靶坯,獲得致密且分布均勻的可用于半導(dǎo)體靶材制造用的鈷靶坯,克服了鈷靶材由于質(zhì)地堅硬易碎,而在塑性變形加工過程中容易產(chǎn)生裂紋而導(dǎo)致報廢率高的問題。
聲明:
“高純鈷靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)