本發(fā)明通過構(gòu)造納米金屬鍵合層,利用納米效應(yīng)實(shí)現(xiàn)熱電器件低溫冶金鍵合和高溫服役;在鎳金屬層表面制備具有納米孔結(jié)構(gòu)的金屬鎳層,銅金屬層的表面制備鎳納米針錐結(jié)構(gòu)層作為鍵合連接面,不同結(jié)構(gòu)形態(tài)的納米鍵合層鍵合后,形成封裝互連界面納米柱形柔性層,用于匹配和吸收器件服役過程中較大熱應(yīng)力沖擊,降低界面熱應(yīng)力導(dǎo)致的裂紋損傷,提升熱電器件在高溫服役過程中的可靠性。
聲明:
“高可靠性熱電器件及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)