本發(fā)明涉及四氯化硅和氫氣在改進(jìn)的加氫脫氯反應(yīng)器中反應(yīng)生成三氯
硅烷的方法。本發(fā)明進(jìn)一步涉及這種改進(jìn)的加氫脫氯反應(yīng)器作為設(shè)備的組成部分在用于從冶金硅制備三氯硅烷中的應(yīng)用。
聲明:
“具有集成式換熱器的反應(yīng)器在將四氯化硅加氫脫氯方法中的應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)