本發(fā)明公開一種偏濾器模塊其制備方法,該偏濾器模塊由純Cu層、W/Cu梯度合金層和純W層的三層結(jié)構(gòu)組成,在純W層和W/Cu梯度合金層的界面處有鎢絲陣列,在純Cu層中有貫穿孔道;所述純Cu層和W/Cu梯度合金層之間為冶金結(jié)合。本發(fā)明的偏濾器模塊具有通過梯度中間層來緩和熱應(yīng)力、利用鎢絲陣列強化結(jié)構(gòu)來提高界面結(jié)合強度的特點。
聲明:
“偏濾器模塊及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)