本發(fā)明提供了一種用于測(cè)量液體粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括襯底，該襯底上設(shè)有儲(chǔ)液池、位于該儲(chǔ)液池上方的懸臂梁、設(shè)置在該儲(chǔ)液池一側(cè)的液體流道以及與液體流道相連通的滴液口，其中，在該懸臂梁上設(shè)有用于靜電驅(qū)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)電極；所述襯底上還設(shè)有與所述第一驅(qū)動(dòng)電極對(duì)應(yīng)的第二驅(qū)動(dòng)電極；所述儲(chǔ)液池用于收容待測(cè)量液體；所述懸臂梁用于測(cè)量該液體的粘度變化。本發(fā)明的MEMS芯片結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，生產(chǎn)成本更低，生產(chǎn)效率更高，并且可廣泛應(yīng)用于醫(yī)療衛(wèi)生、石油、化工、冶金、國(guó)防等技術(shù)領(lǐng)域。另外，采用本發(fā)明的MEMS芯片測(cè)量液體粘度的測(cè)量方法，檢測(cè)精度更高，與IC兼容性更高，更適合個(gè)人化與家庭化的使用。