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提高多晶硅的純化和沉積效率的方法和裝置

652   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:50:23
本發(fā)明提供了由諸如冶金級硅的不純的硅來源商業(yè)規(guī)模地生產(chǎn) 含有一種或多種定制水平的n-型和p-型雜質(zhì)的純化多晶硅顆粒的方 法和裝置。該純化系統(tǒng)和方法包括:(1)一個或多個系列的設(shè)置有雙 流化床的溫控反應(yīng)器或容器,其中轉(zhuǎn)運固體和氣體,以使得通過嚴 格控制溫度和停留時間來實現(xiàn)固體硅的不同程度的純化和沉積;(2) 分離和回收高熔點雜質(zhì)的化合物,如FeSi和FeI2;(3)純化、分離 和再循環(huán)四碘化硅;(4)在連續(xù)分餾塔中,由碘回流促進,分離和回 收較低沸點的液體雜質(zhì)的碘化物,如AlI3;(5)在分餾塔的下游分離 和回收液體混合物中的非常細的固體微粒,包括雜質(zhì)碘化物和元素 硅;(6)由工藝中的固體和液體碘化物雜質(zhì)廢物流的氧化回收輸入 碘。
聲明:
“提高多晶硅的純化和沉積效率的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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