本發(fā)明公開了冶金技術(shù)技術(shù)領(lǐng)域一種用高溫氮氣保護推板窯生產(chǎn)高純氮化硅粉的工藝方法,將高純硅粉研磨至200目以上,將高純硅粉與粘結(jié)劑混合攪拌后通過成型機進行成型造粒;將成型的高純硅粒放入坩堝中送入推板窯進行連續(xù)生產(chǎn);高純硅粒先經(jīng)過預(yù)熱區(qū)預(yù)熱,再緩慢經(jīng)過進入氮化區(qū),壓縮氮氣通過從降溫區(qū)往預(yù)熱區(qū)逆向進入,可以進行充分滲氮,最后燒結(jié)后的產(chǎn)品進入冷卻區(qū);研磨成高純氮化硅粉;本發(fā)明用高溫氮氣保護推板窯生產(chǎn)出來的產(chǎn)品純度高,質(zhì)量穩(wěn)定。因是連續(xù)化生產(chǎn),人工成本低,單位能耗少,產(chǎn)量大。用氮化硅坩堝盛放,氮化硅球球磨不引入其他雜質(zhì)。
聲明:
“用高溫氮氣保護推板窯生產(chǎn)高純氮化硅粉的工藝方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)