本實用新型公開了一種電子束
多晶硅提純用鑄錠坩堝,由坩堝外殼及位于其內(nèi)的坩堝體組合構(gòu)成,在兩者之間夾置有隔水套;在坩堝體上套有螺旋槽水套,該螺旋槽水套緊夾置于坩堝體和隔水套之間。其冷卻效率高,壽命長,易于更換和使用,是實現(xiàn)低成本、高品質(zhì)的冶金物理法制備太陽能級多晶硅的有效設(shè)備。
聲明:
“電子束多晶硅提純用鑄錠坩堝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)