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用于測量液體粘度的MEMS芯片

990 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-18 14:51:37

本實用新型提供了一種用于測量液體粘度的MEMS芯片，所述MEMS芯片包括襯底，該襯底上設有儲液池、位于該儲液池上方的懸臂梁、設置在該儲液池一側的液體流道以及與液體流道相連通的滴液口，其中，在該懸臂梁上設有用于靜電驅動的第一驅動電極；所述襯底上還設有與所述第一驅動電極對應的第二驅動電極；所述儲液池用于收容待測量液體；所述懸臂梁用于測量該液體的粘度變化。本實用新型的MEMS芯片結構更加簡單，生產成本更低，生產效率更高，并且可廣泛應用于醫(yī)療衛(wèi)生、石油、化工、冶金、國防等技術領域。另外，采用本實用新型的MEMS芯片能夠檢測精度，與IC兼容性更高，更適合個人化與家庭化的使用。

聲明：

“用于測量液體粘度的MEMS芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)