本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程的在線監(jiān)控設(shè)備，包括X射線光電子能譜分析系統(tǒng)、電子學(xué)系統(tǒng)以及分析統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，X射線光電子能譜分析系統(tǒng)包括X射線源、電子透鏡以及電子能量分析器，在電子能量分析器內(nèi)設(shè)置電子探測(cè)器，X射線源發(fā)射的X射線照射到鈣鈦礦太陽(yáng)能電池基片表面產(chǎn)生光生電子，電子透鏡接收到上述光電子并傳輸至電子探測(cè)器，電子探測(cè)器將探測(cè)到的光電子信號(hào)經(jīng)過(guò)電子學(xué)系統(tǒng)傳輸至分析統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)，分析統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)的分析數(shù)據(jù)反饋至蒸發(fā)控制系統(tǒng)。本發(fā)明還提供一種使用鈣鈦礦太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程的在線監(jiān)控設(shè)備的監(jiān)測(cè)方法。本發(fā)明通過(guò)監(jiān)測(cè)鈣鈦礦薄膜的生產(chǎn)過(guò)程中的性能參數(shù)，控制其反應(yīng)進(jìn)程，提高各批次鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)的重復(fù)性。