本實(shí)用新型屬于冶金提純技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種真空抽取尾料進(jìn)行定向凝固提純
多晶硅的設(shè)備。該設(shè)備中水冷盤活動(dòng)安裝于真空腔室底部,石墨板置于水冷盤頂端,石墨支柱一端通過(guò)孔與石墨板嵌套連接,另一端與石墨托盤嵌套連接,坩堝置于石墨托盤之上,石墨發(fā)熱體套于坩堝外圍,碳?xì)直赝疤子谑l(fā)熱體之外碳?xì)直厣w上開有孔,置于碳?xì)直赝绊敹?,石英管活?dòng)安裝于真空腔室頂端,上端通過(guò)閥門與真空裝置活動(dòng)密封連接,真空裝置上安裝有真空計(jì)。本實(shí)用新型的設(shè)備是在原有定向凝固設(shè)備的基礎(chǔ)之上增加了石英管、通氣管道和真空裝置,設(shè)備改造安裝方便,操作簡(jiǎn)單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質(zhì),節(jié)約了生產(chǎn)周期和成本,適用于工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)。
聲明:
“真空抽取尾料進(jìn)行定向凝固提純多晶硅的設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)