本發(fā)明公開了一種石英玻璃棒溫度和功率聯(lián)合控制真空燒結(jié)方法,升溫至燒結(jié)溫度前,加熱電源采用溫度PID控制模式,達(dá)到燒結(jié)溫度10min后,程序自動切換至功率控制模式,以避免因紅外測溫不準(zhǔn),而造成石英玻璃棒因?qū)嶋H溫度過高造成的玻璃棒拉長報廢的問題,燒結(jié)階段Phase結(jié)束后,程序再自動切換至溫度PID控制模式;根據(jù)上一爐燒結(jié)運行數(shù)據(jù),各段紅外測溫溫度和加熱電源功率輸出,對下一爐燒結(jié)配方recipe數(shù)據(jù)進(jìn)行修正;本發(fā)明采用溫度和功率聯(lián)合控制控制,可實現(xiàn)真空燒結(jié)多段紅外溫度與實際溫度相差較大時,仍可燒結(jié)出均勻性較好的石英玻璃棒,以提高真空燒結(jié)設(shè)備使用率和石英玻璃棒成品合格率。
聲明:
“石英玻璃棒溫度和功率聯(lián)合控制真空燒結(jié)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)