一種真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積/滲透系統(tǒng)分布式控制裝置屬于自動控制領(lǐng)域。本發(fā)明裝置包括上位機、協(xié)議轉(zhuǎn)換器、溫度控制器、DA轉(zhuǎn)換模塊、真空計、質(zhì)量流量控制器和可編程控制器,當(dāng)可編程控制器的個數(shù)大于1時還包括適配器。上位機分別與可編程控制器、協(xié)議轉(zhuǎn)換器相連,當(dāng)可編程控制器的個數(shù)大于1時通過適配器與上位機相連,協(xié)議轉(zhuǎn)換器分別與溫度控制器、DA轉(zhuǎn)換器相連,DA轉(zhuǎn)換器與真空計、質(zhì)量流量控制器相連。上位機嵌入了系統(tǒng)登錄模塊、控制系統(tǒng)界面模塊、串口通信模塊、溫度控制模塊、流量控制模塊、真空度采集模塊和數(shù)據(jù)存儲模塊。本發(fā)明通訊、數(shù)據(jù)處理能力強;控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)易于調(diào)整、升級,抗干擾能力強;通用性強。