本發(fā)明公開了一種真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐,涉及化工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,包括爐體、真空系統(tǒng)和充氣系統(tǒng),所述爐體內(nèi)設(shè)置有加熱室,所述加熱室外側(cè)設(shè)置有感應(yīng)加熱裝置,所述加熱室內(nèi)設(shè)置有沉積室,所述沉積室與所述充氣系統(tǒng)連通,所述加熱室與所述爐體之間為真空室,所述加熱室和所述真空室分別通過管路與所述真空系統(tǒng)連通。本發(fā)明將真空室和沉積室設(shè)置成兩個(gè)相互獨(dú)立的結(jié)構(gòu),真空室和沉積室不相通,沉積氣體僅通入沉積室,不僅減少了沉積氣體的浪費(fèi),還便于控制沉積室內(nèi)沉積氣體的壓力和密度;真空系統(tǒng)分別對(duì)真空室和沉積室進(jìn)行抽真空,沉積室內(nèi)排出的污染性廢氣可以直接排出爐體之外,避免了對(duì)真空室的污染和損壞。
聲明:
“真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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