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低壓高能SiC半導體電嘴材料的制備方法

998   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 14:58:02
本發(fā)明公開了一種低壓高能SiC半導體電嘴材料的制備方法,包括以下步驟:1)按照體積配比,選取45~70%的SiC粉末,5~15%的ZrO2粉末,10~30%的Al2O3粉末,10~30%的構成玻璃體系復合氧化物粉末,混合均勻,過200目篩儲存?zhèn)溆茫?)按照粉料重量:PVA重量=95 : 5的比例加入8%固含量的PVA,手動混合均勻后,過80目篩,在80MPa壓力下壓制形成生坯;3)將生坯放入空氣爐中進行燒結,升溫速率為5℃/h,升溫至450℃,保溫12h;4)將排膠后的生坯放入真空燒結爐中,填充Ar,升溫至1600~1800℃進行燒結,保溫時間為1~3h,升溫速率為5℃/min。本發(fā)明制備得到的SiC半導體復合材料具有發(fā)火電壓低,火花能量大、不受氣壓和環(huán)境介質的影響,耐熱沖擊、耐電火花的腐蝕,熄滅再啟動、高空性能好等優(yōu)良性能。
聲明:
“低壓高能SiC半導體電嘴材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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