本發(fā)明提供了一種
碳納米管復(fù)合薄膜場發(fā)射陰極的制備方法,包括:S1、制備碳納米管/TiC/Ti
復(fù)合材料;S2、將碳納米管/TiC/Ti復(fù)合材料和納米填充顆粒按質(zhì)量比5:1-1:5混合,混合物加入到有機(jī)溶劑中,并采用超聲進(jìn)行分散,形成第一漿料;S3、在銀電極上移植第一漿料,形成碳納米管復(fù)合薄膜;S4、在200°C-600°C的溫度下,將碳納米管復(fù)合薄膜放入燒結(jié)爐進(jìn)行真空燒結(jié)或還原氣氛燒結(jié),其中,燒結(jié)時間在15分鐘以上;S5、利用腐蝕劑腐蝕除去碳納米管復(fù)合薄膜燒結(jié)后表面的Ti,露出碳納米管/TiC發(fā)射尖端,并形成碳納米管復(fù)合薄膜場發(fā)射陰極。該方法制備的碳納米管復(fù)合薄膜場發(fā)射陰極結(jié)構(gòu)增強(qiáng)了碳納米管發(fā)射體與基體粘附力和電接觸、改善了場發(fā)射性能。
聲明:
“碳納米管復(fù)合薄膜場發(fā)射陰極的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)