本發(fā)明公布了一種抗粉化塊體吸氣劑的制備方法,所述方法包括如下步驟:將吸氣合金中的原料按一定比例進(jìn)行配制,通過熔煉的方法制備成合金,然后對(duì)合金在保護(hù)氣氛下進(jìn)行破碎和球磨;將吸氣合金粉末與0.1~70%wt%鈦及鈦合金纖維均勻混合形成合金混合物;將上述合金混合物在鋼性模具中進(jìn)行壓制形成壓坯;在真空度為3~5×10
?3 Pa的真空環(huán)境下,對(duì)壓坯進(jìn)行真空燒結(jié),即可得到抗粉化能力強(qiáng)的塊體吸氣劑。本發(fā)明產(chǎn)生的塊體吸氣劑產(chǎn)品,在MEMS晶元級(jí)封裝中具有較好的韌性,克服了產(chǎn)品使用過程中掉粉掉渣的現(xiàn)象,能夠維持晶元封裝后在振動(dòng)環(huán)境下較好的真空度,有利于延長(zhǎng)使用壽命,并且結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,適合大批量生產(chǎn),可以有效地滿足用戶的需求。
聲明:
“抗粉化塊體吸氣劑的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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