本發(fā)明公開(kāi)了一種利用晶硅切割廢砂漿制備碳化硅粉體的方法,具體過(guò)程為:首先,向晶硅切割廢砂漿中加入有機(jī)溶劑,溶解廢砂漿中的聚乙二醇,過(guò)濾并烘干濾餅;然后,研磨濾餅成粉狀,加入稀鹽酸反應(yīng),反應(yīng)完全后過(guò)濾,除去微量的金屬雜質(zhì),得到硅與碳化硅的混合粉體;接下來(lái),向混合粉體中加入過(guò)量碳源,并通過(guò)機(jī)械球磨使粉體均勻混合;最后,在一定溫度范圍內(nèi),真空或惰性氣氛熱處理混合粉體使硅與碳發(fā)生碳化反應(yīng),反應(yīng)完全后在空氣中除去殘留碳,最終得到高純碳化硅粉體。本發(fā)明簡(jiǎn)化了傳統(tǒng)晶硅切割廢砂漿回收方法中復(fù)雜的工藝流程,并通過(guò)較為簡(jiǎn)單的方法使晶硅切割廢砂漿中的硅最終全部轉(zhuǎn)化為碳化硅,使資源得以再利用,并且減少了環(huán)境污染。
聲明:
“從晶硅切割廢砂漿提純制備碳化硅粉體的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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