本發(fā)明提供的一種高可靠抗輻照瞬變電壓抑制二極管的制造方法,采用鉬或鎢作為電極引線,管芯采用鋁作為焊料,
芯片采用深結(jié)擴散工藝,臺面造型為正斜角造型,該芯片結(jié)構(gòu)降低表面電場,同時在進行玻璃鈍化封裝前,采用酸、堿腐蝕工藝及鈍化工藝對芯片臺面進行保護,然后采用特殊玻璃粉進行高溫鈍化封裝成型;本發(fā)明芯片成正斜角,降低了器件的表面電場,提高了芯片表面的穩(wěn)定性;在芯片腐蝕過程中最大限度的清潔了芯片表面,減少了界面電荷的影響,使器件具有良好的雪崩擊穿性能,提升產(chǎn)品的可靠性;由于鈍化層較厚,同時具有一定的含鉛量使產(chǎn)品能在輻照條件下穩(wěn)定工作。
聲明:
“高可靠抗輻照瞬變電壓抑制二極管的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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