本發(fā)明公開了一種W-Ti合金靶材的制造方法,該方法以純度高于99.9%的W粉和純度高于96.7%的TiH2粉為原料,經(jīng)過對TiH2粉末的高能球磨,隨后與W粉進行混粉;然后在壓力為250~280MPa,保壓時間為3~6min的條件下進行壓坯,再對壓胚進行真空無壓燒結(jié),然后將燒結(jié)后的合金進行固溶退火,隨后淬火冷卻;最后將W-Ti合金機加工成靶材成品即可。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,工藝方法上燒結(jié)溫度低,燒結(jié)過程中不附加任何壓力,且所制備的合金靶材合金組織均勻、致密度高、可控尺寸大。
聲明:
“W-Ti合金靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)