本發(fā)明涉及一種
多晶硅鑄錠爐用坩堝蓋板及蓋板表面涂層方法,采用化學(xué)氣相沉積與高溫處理相結(jié)合的工藝方法在炭/炭
復(fù)合材料蓋板的外表面制備出致密、結(jié)合力強的SiC涂層,降低多晶硅鑄錠的碳含量、延長蓋板的使用壽命,尤其適用于多晶硅鑄錠爐用蓋板的開發(fā)和應(yīng)用。
聲明:
“多晶硅鑄錠爐用坩堝蓋板及蓋板表面涂層方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)