本發(fā)明公開了一種控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法,將混合粉體通過冷等靜壓成形,并進(jìn)行高溫真空脫氣處理,再以吸氧性金屬箔材隔離毛坯和石墨模具,經(jīng)真空熱壓燒結(jié)得到鎢硅靶材。該方法有助于鎢硅靶材中易揮發(fā)非金屬元素的脫除,有效地控制了鎢硅靶材中的非金屬元素含量,具有可操作性強(qiáng)、成本低的特點(diǎn)。
聲明:
“控制鎢硅靶材中非金屬元素含量的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)