一種低偏析鋁鈧合金靶材是采用Al包覆Sc的核殼結(jié)構(gòu),其Sc含量為20~50at%,成分波動在±0.2%之內(nèi),氧含量小于200ppm,相對密度不小于99.5%的AlSc合金靶材;其制備方法,包括:加入粘結(jié)劑的Sc粉與Al粉混粉,熱處理燒結(jié)粉末,獲得核殼結(jié)構(gòu)AlSc合金粉末,熱壓燒結(jié)及獲得低偏析鋁鈧合金靶材;本發(fā)明形成的合金粉后,不存在后期傳輸過程由于兩種粉末性質(zhì)不同造成的二次偏析現(xiàn)象,經(jīng)過后期熱壓燒結(jié)后可獲得低偏析的AlSc合金靶材。
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