本發(fā)明公開(kāi)了屬于陶瓷靶材技術(shù)領(lǐng)域的一種高純超高溫陶瓷靶材的制備方法,具體 為高純硼化鋯/硼化鉿粉體及其陶瓷靶材的制備方法。該方法是以高純Zr粉,Hf粉以及 高純B粉為原料,采用自蔓延法分別制備高純ZrB2和HfB2粉體,再采用高溫高壓的熱 壓成型工藝制備高純致密的硼化鋯/硼化鉿超高溫陶瓷靶材,靶材相對(duì)密度達(dá)到95~99%。 相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù),本方法混料時(shí)金屬粉稍過(guò)量,彌補(bǔ)了自蔓延反應(yīng)過(guò)程中金屬的損失, 進(jìn)一步保證了產(chǎn)物組分的單一性。相對(duì)于無(wú)壓燒結(jié),本方法所需要的燒結(jié)溫度大大降低, 并且本熱壓工藝采用兩段式溫度,均勻了坯料的溫度場(chǎng),為后期熱壓過(guò)程中得到密度均 勻的靶材,提供了保證。
聲明:
“高純硼化鋯/硼化鉿粉體及其超高溫陶瓷靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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