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沉積鎢的金剛石粉以及復(fù)合銅粉的材料及其制備方法

876   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:21
本發(fā)明涉及一種在金剛石粉體上沉積鎢的核殼材料的制備方法,包括:a,將金剛石粉體放入原子層沉積設(shè)備中,抽真空,設(shè)置溫度為150~300℃,通入Si2H6;b,通入清掃氣體吹掃過量的Si2H6及副產(chǎn)物;c,通入WF6;d,通入清掃氣體吹掃過量的WF6及副產(chǎn)物;e,通入還原性前驅(qū)體;f,通入清掃氣體吹掃過量的還原性前驅(qū)體及副產(chǎn)物;g,重復(fù)c~f步驟1~1000次,得到表面沉積鎢的金剛石粉體核殼材料。使用本方法,金剛石粉體上的狹窄孔隙均可覆蓋,通過控制沉積周期實現(xiàn)薄膜厚度的精確控制,涂層厚度達到納米級別,同時,原子層間的原子依靠強烈的化學(xué)鍵連接,不會產(chǎn)生孔洞和裂隙,形成的涂層不易脫落,增強了金剛石與其他金屬結(jié)合界面的潤濕性。
聲明:
“沉積鎢的金剛石粉以及復(fù)合銅粉的材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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