本發(fā)明公開(kāi)了一種真空規(guī)管,所述真空規(guī)管包括電阻規(guī)管、冷陰極電離規(guī)管、置于真空規(guī)管外側(cè)的永磁組件、用以連接真空測(cè)量設(shè)備與真空規(guī)管的高壓插座,所述真空規(guī)管還包括法蘭組件、陽(yáng)極組件;所述法蘭組件包括刀口法蘭和焊接于刀口法蘭上的管體,所述管體設(shè)有安裝電阻規(guī)管和陽(yáng)極組件的腔室;所述陽(yáng)極組件包括壓板、已金屬化的陶瓷件和焊接于陶瓷組件上的陽(yáng)極桿,所述壓板上設(shè)有用以焊接陶瓷組件的焊接槽和用以安裝電阻規(guī)管、陶瓷組件的腔室;采用所述真空規(guī)管其測(cè)量范圍可以達(dá)到105Pa-10-7Pa, 拓展了冷陰極電離規(guī)管的測(cè)量上限。
聲明:
“真空規(guī)管” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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