本發(fā)明提供了一種圖案形成方法,該方法包括(I)在表面上設(shè)置與基板直接化學(xué)結(jié)合的接枝聚合物,制造基板的接枝聚合物生成步驟、(II)通過液滴噴出法,按照預(yù)定的圖案形狀,在生成上述接枝聚合物的表面上配置將粒子分散在液體(分散介質(zhì))中形成的分散液液滴的粒子分散液配置步驟和(III)從上述配置的液滴中蒸發(fā)掉液體(分散介質(zhì)),按照預(yù)定的圖案形狀在上述基板上形成由粒子構(gòu)成的層的粒子圖案形成步驟。
聲明:
“圖案形成方法及多層布線結(jié)構(gòu)形成方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)