本發(fā)明公開了一種擴散泵,特別是涉及一種大口徑高真空油擴散泵,它適合應用于真空爐、真空鍍膜機。大口徑高真空油擴散泵,它包括泵體、設置在泵體內的泵芯組件,其中加熱器設置在泵體底部、泵體的排氣口內設有擋油裝置,泵體采用了凸腔結構,泵芯組件垂直安裝在泵體內中心油槽內,泵芯組件結構是由內至外依次設置一級導流管、二級導流管和三級導流管構成整體結構,各級導流管上部均設有傘帽形擴散噴嘴,噴射噴嘴垂直焊接在三級導流管的底部,一級導流管的高度比二級導流管高,二級導流管的高度比三級導流管高。本發(fā)明具有大口徑、極限真空度高、抽氣速率高、返油率低、耗電量低的特點。
聲明:
“大口徑高真空油擴散泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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