亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 功能材料技術(shù)

> 高深寬比高保形納米級(jí)正型結(jié)構(gòu)的制備方法

高深寬比高保形納米級(jí)正型結(jié)構(gòu)的制備方法

797   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:04:02
本發(fā)明揭示了一種高深寬比高保形納米級(jí)正型結(jié)構(gòu)的制備方法,本發(fā)明用旋涂的方法在提供的襯底上旋涂一層正性光刻膠聚甲基丙烯酸甲酯,并置于熱板上前烘;利用電子束曝光技術(shù)對(duì)樣品進(jìn)行曝光顯影得到預(yù)期的聚甲基丙烯酸甲酯微納結(jié)構(gòu);利用磁控濺射鍍膜沉積技術(shù)在樣品上共形沉積一層功能材料薄膜;利用旋涂的方式在濺射處理后的樣品上旋涂一層平坦化層氫倍半硅氧烷;然后把樣品置于熱板上低溫烘烤以去除平坦化材料中的溶劑;再對(duì)樣品用斜角離子束拋光設(shè)備以角度小于90°的夾角進(jìn)行拋光處理直到除去聚甲基丙烯酸甲酯上表面所有金屬為止;最后用氧等離子對(duì)樣品進(jìn)行處理以達(dá)到去除聚甲基丙烯酸甲酯并進(jìn)行無(wú)應(yīng)力釋放最終的高深寬比高保形納米級(jí)正型結(jié)構(gòu)。
聲明:
“高深寬比高保形納米級(jí)正型結(jié)構(gòu)的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
功能材料
全國(guó)熱門(mén)有色金屬技術(shù)推薦
展開(kāi)更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)
了解更多信息請(qǐng)您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺(tái)微信公眾號(hào)中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門(mén)技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專(zhuān)利人/作者信息登記