本發(fā)明提供了一種原位檢測礦物微區(qū)EBSD圖像的方法,采用配置了電子背散射衍射探頭的雙束掃描電鏡進(jìn)行檢測,步驟如下:(1)將樣品置于樣品臺(tái)上,密閉樣品腔并抽真空,選取檢測區(qū)域;(2)利用FIB功能將選取的檢測區(qū)域內(nèi)的樣品制成切片,固定在FIB載網(wǎng)上使切片與樣品臺(tái)垂直,利用FIB功能將切片減薄成薄片樣品;(3)①對薄片樣品進(jìn)行t?EBSD檢測,得到初始厚度下的樣品微區(qū)EBSD圖像;②利用FIB功能對薄片樣品繼續(xù)減薄,減薄過程中,利用SEM功能實(shí)時(shí)觀察薄片樣品的表面形態(tài),當(dāng)薄片樣品表面出現(xiàn)納米顆粒時(shí),對出現(xiàn)納米顆粒的區(qū)域進(jìn)行t?EBSD檢測,得到包含納米顆粒的樣品微區(qū)EBSD圖像;③重復(fù)步驟②的操作,得到不同厚度下包含納米顆粒的樣品微區(qū)EBSD圖像。
聲明:
“原位檢測礦物微區(qū)EBSD圖像的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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