本發(fā)明公開的后置分光瞳差動共焦LIBS光譜?質(zhì)譜顯微成像方法與裝置，屬于共焦顯微成像、光譜成像及質(zhì)譜成像測量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將后置分光瞳激光差動共焦顯微成像技術(shù)與光譜、質(zhì)譜探測技術(shù)結(jié)合，利用經(jīng)超分辨技術(shù)處理的后置分光瞳差動共焦顯微鏡的微小聚焦光斑對樣品進(jìn)行高空間分辨形態(tài)成像，利用質(zhì)譜探測系統(tǒng)對樣品微區(qū)帶電分子、原子等進(jìn)行質(zhì)譜探測，利用光譜探測系統(tǒng)對聚焦光斑激發(fā)的激光誘導(dǎo)擊穿光譜進(jìn)行微區(qū)光譜探測，利用激光多譜探測的優(yōu)勢互補和結(jié)構(gòu)融合實現(xiàn)樣品微區(qū)完整組分信息與形態(tài)參數(shù)的高空間分辨和高靈敏成像與探測。本發(fā)明可為生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、礦產(chǎn)、微納制造等領(lǐng)域形態(tài)成像及物質(zhì)組分探測提供全新的有效技術(shù)途徑。