本發(fā)明公開了一種鈦酸鍶鋇薄膜材料的制備方 法,該方法采用直流磁控濺射法制備Pt/Ti底電極,采用 BaxSr1- xTiO3陶瓷靶材 及射頻磁控濺射設(shè)備,在較低功率下預(yù)濺射后,在正常工藝條 件下濺射BST薄膜,然后在O2 氣氛中進(jìn)行慢速熱處理,如此重復(fù)進(jìn)行三次;最后,采用直流 磁控濺射在BST薄膜上制備上電極,得到具有夾心結(jié)構(gòu)的材料 樣品。采用本發(fā)明的方法能得到具有
鈣鈦礦結(jié)構(gòu)、晶粒大小均 勻、鐵電性能較好的BST鐵電薄膜,該鐵電薄膜可用于動態(tài)隨 機(jī)存儲器、介質(zhì)移相器、壓控濾波器、熱釋電紅外探測器等領(lǐng) 域。
聲明:
“鈦酸鍶鋇薄膜材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)