本發(fā)明公開了一種頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法。該方法包括樣品拋光、掃描電鏡成像、圖像定位及原子力顯微鏡成像等過程。本發(fā)明設(shè)計(jì)了一套實(shí)驗(yàn)測試流程:首先根據(jù)實(shí)驗(yàn)測試條件,確定樣品拋光模式。然后進(jìn)行掃描電鏡成像,通過局部構(gòu)造或特殊礦物輔助,使用測距工具對目標(biāo)方位進(jìn)行準(zhǔn)確測量。再將樣品置于原子力顯微鏡中,根據(jù)掃描電鏡中得到的目標(biāo)平面位置信息,移動探針至目標(biāo)區(qū)上方進(jìn)行原子力顯微鏡成像。最終實(shí)現(xiàn)了頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡的原位觀察。
聲明:
“頁巖樣品掃描電鏡和原子力顯微鏡原位觀察的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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