本發(fā)明公開了一種硅/碳納米管/碳氧化硅復合材料及制備方法和應用，涉及硅基復合材料領域，包括硅納米粒子、碳納米管和碳氧化硅顆粒，碳納米管和硅納米粒子分散混合形成三維網(wǎng)絡導電骨架，碳氧化硅顆粒包覆三維網(wǎng)絡導電骨架；制備方法是將硅納米粒子和碳納米管加入到有機硅樹脂乳液中，超聲攪拌，得到混合液；在惰性氣氛條件下，將混合液進行熱裂解處理，得粉體；將粉體進行球磨，即得的硅/碳納米管/碳氧化硅復合材料固體顆粒。本發(fā)明得到碳氧化硅顆粒包覆硅納米粒子和碳納米管的復合結構，抑制了硅材料的體積膨脹作用，該復合材料在催化劑載體、物理及化學電源、超級電容器等領域都可以使用。