一種利用介電
復(fù)合材料的直接成像來制造電子互連裝置的改進的方法,其通過在復(fù)合材料中包含導(dǎo)電材料,并通過曝露于電磁輻射而讓該導(dǎo)電材料變得不導(dǎo)電。該導(dǎo)電材料通常包含單壁
碳納米管。
聲明:
“利用介電復(fù)合材料的直接成像來制造電子互連裝置的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)