本發(fā)明公開了一種利用化學氣相沉積制備復合材料的裝置及方法，裝置包括化學氣相沉積設備，收集裝置和噴霧設備，其中收集裝置設置于化學氣相沉積設備出料口處；收集裝置包括收集面、設置于收集面下方帶動收集面進行位移的傳動輪以及與傳動輪連接的用于驅動傳動輪的電機；噴霧設備包括霧化噴頭，所述霧化噴頭與收集面相對設置。方法包括首先配制前驅體溶液，然后設定化學氣相沉積后向爐腔中注入前驅體溶液，最后向化學氣相沉積設備爐管出料口出來的薄膜上以噴霧形式噴射待復合材料，再經(jīng)后續(xù)處理得到成品復合薄膜。本發(fā)明提供的裝置和方法在制備復合材料過程中巧妙地采用噴霧方式進行材料復合，最大程度保持了復合材料中各復合成分自身的特性。